加地哲团队采用氯气、四氯化硅混合刻蚀气体取得最优效果：氯气与氮化镓🇵🇲反应生成三氯化镓、三氯化氮等挥发Ⓜ👨👩👧👦。
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加地哲团队采用氯气、四氯化硅混合刻蚀气体取得最优效果：氯气与氮化镓🇵🇲反应生成三氯化镓、三氯化氮等挥发Ⓜ👨👩👧👦。
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